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中国科学院半导体研究所 154 中国科学院半导体研究所（2009年前） 141 集成光电子学国家重点实验室 7
半导体超晶格国家重点实验室 2 光电系统实验室 2 半导体材料科学中心 1
高性能集成电路实验室 1