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中国科学院半导体研究所 1961 中国科学院半导体研究所(2009年前) 488 光电子研究发展中心 419
中科院半导体材料科学重点实验室 368 半导体超晶格国家重点实验室 183 集成光电子学国家重点实验室 91
固态光电信息技术实验室 87 纳米光电子实验室 73 全固态光源实验室 68
半导体集成技术工程研究中心 58 中科院半导体照明研发中心 52 光电子器件国家工程中心 36
光电系统实验室 32 北京纳米能源与系统研究所 5 科半公司 1
高速电路与神经网络实验室 1