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中国科学院半导体研究所 167 中科院半导体材料科学重点实验室 62 中国科学院半导体研究所（2009年前） 42
光电子研究发展中心 21 半导体集成技术工程研究中心 12 集成光电子学国家重点实验室 9
中科院半导体照明研发中心 6 半导体超晶格国家重点实验室 4 纳米光电子实验室 3
北京纳米能源与系统研究所 3 半导体材料科学中心 2 表面物理国家重点实验室 1
光电子器件国家工程中心 1 光电系统实验室 1