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中国科学院半导体研究所 543 半导体超晶格国家重点实验室 230 中科院半导体材料科学重点实验室 120
光电子研究发展中心 63 中国科学院半导体研究所（2009年前） 50 半导体集成技术工程研究中心 26
中科院半导体照明研发中心 24 集成光电子学国家重点实验室 11 半导体材料科学中心 8
固态光电信息技术实验室 6 纳米光电子实验室 2 全固态光源实验室 1
高性能集成电路实验室 1 光电系统实验室 1