SEMI OpenIR
当前检索式 ((ALL:Inductively-coupled Plasma))
限定条件 ((发表日期:2019))
共9条,第1-9条
中国科学院半导体研究所 61 光电子研究发展中心 24 中科院半导体照明研发中心 11
半导体集成技术工程研究中心 8 半导体超晶格国家重点实验室 7 固态光电信息技术实验室 5
中科院半导体材料科学重点实验室 4 光电子器件国家工程中心 1 纳米光电子实验室 1