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中国科学院半导体研究所 152 中国科学院半导体研究所（2009年前） 135 集成光电子学国家重点实验室 5
中科院半导体材料科学重点实验室 5 光电子器件国家工程中心 4 半导体材料科学中心 2
光电系统实验室 1