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中国科学院半导体研究所 130 中国科学院半导体研究所(2009年前) 109 集成光电子学国家重点实验室 11
中科院半导体材料科学重点实验室 4 纳米光电子实验室 3 半导体材料科学中心 2
光电系统实验室 1