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973 Program 2006CB6 1 973 Program 2006CB6 1 973 program 2006CB9 1
National Basic Resea 1 National Basic Resea 1 国家863计划 1
国家自然科学基金(6 86 1;69 1 国家自然科学基金(6 86 1;69 1 国家自然科学基金（6 86 1）,国 1
国家自然科学基金（No.6 86 1 1 国家自然科学基金（No.6 86 1 1 国家自然科学基金（批准号 1
集成光电子学联合国家重点实验室基金,国家 1 集成光电子联合实验室中科院半导体所实验区 1