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共15条，第1-15条
Journal of Semicondu 4 MICROMACHINES 4 ACTA PHYSICA SINICA 2
Journal of Micromech 2 PHOTONICS 2 SENSORS AND ACTUATOR 2
AIP ADVANCES 1 APPLIED OPTICS 1 FIBER AND INTEGRATED 1
INTERNATIONAL JOURNA 1 JOURNAL OF MICROELEC 1 Micromachines 1
SCIENTIFIC REPORTS 1 SENSORS 1 Sensors and Actuator 1