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中国科学院半导体研究所 41 中国科学院半导体研究所（2009年前） 22 全固态光源实验室 8
半导体材料科学中心 5 集成光电子学国家重点实验室 2 光电子器件国家工程中心 2
中科院半导体材料科学重点实验室 1 科半公司 1