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中国科学院半导体研究所 55 中科院半导体材料科学重点实验室 20 中国科学院半导体研究所(2009年前) 15
半导体超晶格国家重点实验室 12 中科院半导体照明研发中心 5 光电子研究发展中心 2
半导体集成技术工程研究中心 1