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中国科学院半导体研究所 115 半导体集成技术工程研究中心 52 中国科学院半导体研究所(2009年前) 44
中科院半导体材料科学重点实验室 8 半导体超晶格国家重点实验室 3 光电子研究发展中心 3
纳米光电子实验室 2 全固态光源实验室 2 集成光电子学国家重点实验室 1