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中国科学院半导体研究所 635 中国科学院半导体研究所（2009年前） 226 中科院半导体材料科学重点实验室 146
半导体超晶格国家重点实验室 74 光电子研究发展中心 50 中科院半导体照明研发中心 47
纳米光电子实验室 28 半导体集成技术工程研究中心 19 集成光电子学国家重点实验室 15
光电系统实验室 13 光电子器件国家工程中心 9 半导体材料科学中心 4
固态光电信息技术实验室 4