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共20条，第1-20条
Knowledge Innovation 3 863计划 1 Chinese Academy of S 1
Chinese Academy of S 1 Chinese Academy of S 1 Knowledge Innovation 1
Knowledge Innovation 1 Knowledge Innovation 1 Knowledge Innovation 1
National Basic Resea 1 National Basic Resea 1 National Natural Sci 1
中国科学院科研装备研制项目,国家自然科学 1 国家"863"计划资助项目,国家自然科学 1 国家863计划,北京市自然科学基金,教育 1
国家863计划项目资助 1 国家自然科学基金,中国科学院半导体材料科 1 国家自然科学基金资助项目,国家八六三高技 1
国家自然科学基金项目,高等学校博士学科点 1 国家重大专项资助课题 1