Fabrication and characterization of two-dimensional photonic crystal on silicon by efficient methods
Xu XS (Xu Xingsheng); Wang CX (Wang Chunxia); Li F (Li Fang); Xiong GG (Xiong Guiguang); Liu YL (Liu Yuliang); Chen HD (Chen Hongda); Xu, XS, Chinese Acad Sci, State Key Lab Integrated Optoelect, Inst Semicond, Beijing 100083, Peoples R China.
2006
会议名称3rd International Conference on Group IV Photonics
会议录名称2006 3rd IEEE International Conference on Group IV Photonics
页码69-71
会议日期SEP 13-15, 2006
会议地点Ottawa, CANADA
出版地345 E 47TH ST, NEW YORK, NY 10017 USA
出版者IEEE
ISBN978-1-4244-0095-9
部门归属chinese acad sci, state key lab integrated optoelect, inst semicond, beijing 100083, peoples r china
摘要Two-dimensional photonic crystals working in near infrared region are fabricated into silicon-on-insulator wafer by 248-nm deep UV lithography. We present an efficient way to measure the photonic crystal waveguide's light transmission spectra at given polarization states.
关键词Wave-guide
学科领域光电子学
主办者IEEE.
收录类别其他
语种英语
文献类型会议论文
条目标识符http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/9774
专题中国科学院半导体研究所(2009年前)
通讯作者Xu, XS, Chinese Acad Sci, State Key Lab Integrated Optoelect, Inst Semicond, Beijing 100083, Peoples R China.
推荐引用方式
GB/T 7714
Xu XS ,Wang CX ,Li F ,et al. Fabrication and characterization of two-dimensional photonic crystal on silicon by efficient methods[C]. 345 E 47TH ST, NEW YORK, NY 10017 USA:IEEE,2006:69-71.
条目包含的文件
文件名称/大小 文献类型 版本类型 开放类型 使用许可
2238.pdf(310KB) 限制开放--请求全文
个性服务
推荐该条目
保存到收藏夹
查看访问统计
导出为Endnote文件
谷歌学术
谷歌学术中相似的文章
[Xu XS (Xu Xingsheng)]的文章
[Wang CX (Wang Chunxia)]的文章
[Li F (Li Fang)]的文章
百度学术
百度学术中相似的文章
[Xu XS (Xu Xingsheng)]的文章
[Wang CX (Wang Chunxia)]的文章
[Li F (Li Fang)]的文章
必应学术
必应学术中相似的文章
[Xu XS (Xu Xingsheng)]的文章
[Wang CX (Wang Chunxia)]的文章
[Li F (Li Fang)]的文章
相关权益政策
暂无数据
收藏/分享
所有评论 (0)
暂无评论
 

除非特别说明,本系统中所有内容都受版权保护,并保留所有权利。