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SEMI OpenIR  > 中国科学院半导体研究所(2009年前)  > 期刊论文

题名: Fabrication of photonic crystal on semiconductor materials by using focued ion-beam
作者: Xu XS (Xu Xing-Sheng);  Xiong ZG (Xiong Zhi-Gang);  Jin AZ (Jin Ai-Zi);  Chen HD (Chen Hong-Da);  Zhang DZ (Zhang Dao-Zhong)
发表日期: 2007
摘要: A method of manufacturing two-dimensional photonic crystals on several kinds of semiconductor materials in near infrared region by a focused ion beam is introduced, and the corresponding fabrication results are presented and show that the obtained parameters of fabricated photonic crystals are identical with the designed ones. Using the tunable laser source, the spectra of the fabricated passive photonic crystal and the active photonic crystal are measured. The experiment demonstrates that the focused ion-beam can be used to fabricate the perfect two-dimensional photonic crystals and their devices.
刊名: ACTA PHYSICA SINICA
专题: 中国科学院半导体研究所(2009年前)_期刊论文

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Xu, XS (Xu Xing-Sheng); Xiong, ZG (Xiong Zhi-Gang); Jin, AZ (Jin Ai-Zi); Chen, HD (Chen Hong-Da); Zhang, DZ (Zhang Dao-Zhong) .Fabrication of photonic crystal on semiconductor materials by using focued ion-beam ,ACTA PHYSICA SINICA,FEB 2007,56 (2):916-921
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