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SEMI OpenIR  > 中国科学院半导体研究所(2009年前)  > 期刊论文

题名: Novel folding large-scale optical switch matrix with total internal reflection mirrors on silicon-on-insulator by anisotropy chemical etching
作者: Liu JW;  Yu JZ;  Chen SW
发表日期: 2005
摘要: A compact optical switch matrix was designed, in which light circuits were folded by total internal reflective (TIR) mirrors. Two key elements, 2 x 2 switch and TIR mirror, have been fabricated on silicon-on-insulator wafer by anisotropy chemical etching. The 2 x 2 switch showed very low power consumption of 140 mW and a very high speed of 8 +/- 1 mus. An improved design for the TIR mirror was developed, and the fabricated mirror with smooth and vertical reflective facet showed low excess loss of 0.7 +/- 0.3 dB at 1.55 mum.
KOS主题词: rib waveguides
刊名: CHINESE PHYSICS LETTERS
专题: 中国科学院半导体研究所(2009年前)_期刊论文

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推荐引用方式:
Liu, JW; Yu, JZ; Chen, SW .Novel folding large-scale optical switch matrix with total internal reflection mirrors on silicon-on-insulator by anisotropy chemical etching ,CHINESE PHYSICS LETTERS,JAN 2005,22 (1):142-145
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