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SEMI OpenIR  > 中国科学院半导体研究所(2009年前)  > 期刊论文

题名: Thermo-optical switch matrix based on silicon-on-insulator waveguides
作者: Li YP;  Yang D;  Sun F;  Chen SW;  Yu JZ
发表日期: 2005
摘要: A thermo-optical waveguide switch matrix is designed and fabricated on silicon-on-insulator wafer. Multi-mode interferometers are used as power splitters and combiners in a Mach-Zehnder structure. Inductively coupled plasma reactive ion etching is used to fabricate the waveguides. The rise and fall times of the switch matrix are 13 mu s and 7 mu s, respectively. Switch cells have an average switching power consumption of 340 mW.
KOS主题词: FABRICATION
刊名: CHINESE PHYSICS LETTERS
专题: 中国科学院半导体研究所(2009年前)_期刊论文

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推荐引用方式:
Li, YP; Yang, D; Sun, F; Chen, SW; Yu, JZ .Thermo-optical switch matrix based on silicon-on-insulator waveguides ,CHINESE PHYSICS LETTERS,MAR 2005,22 (3):621-623
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