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SEMI OpenIR  > 中国科学院半导体研究所(2009年前)  > 期刊论文

题名: Low power-consumption and high response frequency thermo-optic variable optical Attenuators based on silicon-on-insulator materials
作者: Fang Q;  Chen P;  Xin HL;  Wang CX;  Li F;  Liu YL
发表日期: 2005
摘要: A novel silicon-on-insulator thermo-optic variable optical attenuator with isolated grooves based on a multimode interference coupler principle is fabricated by the inductive coupled plasma etching technology. The maximum fibre-to-fibre insertion loss is lower than 2.2 dB, the dynamic attenuation range is from 0 to 30 dB in the wavelength range 1500-1600 nm, and the maximum power consumption is only 140 mW. The response frequency of the fabricated variable optical attenuator is about 30 kHz. Compared to the variable optical attenuator without isolated grooves, the maximum power consumption decreases more than 220 mW, and the response frequency rises are more than 20 kHz.
刊名: CHINESE PHYSICS LETTERS
专题: 中国科学院半导体研究所(2009年前)_期刊论文

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Fang, Q; Chen, P; Xin, HL; Wang, CX; Li, F; Liu, YL .Low power-consumption and high response frequency thermo-optic variable optical Attenuators based on silicon-on-insulator materials ,CHINESE PHYSICS LETTERS,JUN 2005,22 (6):1452-1455
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