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SEMI OpenIR  > 中国科学院半导体研究所(2009年前)  > 期刊论文

题名: Diamond nucleation by energetic pure carbon bombardment
作者: Yao Y;  Liao MY;  Kohler T;  Frauenheim T;  Zhang RQ;  Wang ZG;  Lifshitz Y;  Lee ST
发表日期: 2005
摘要: Deposition of 1000 eV pure carbon ions onto Si(001) held at 800 degrees C led to direct nucleation of diamond crystallites, as proven by high-resolution transmission electron microscopy and electron energy loss spectroscopy. Molecular dynamic simulations show that diamond nucleation in the absence of hydrogen can occur by precipitation of diamond clusters in a dense amorphous carbon matrix generated by subplantation. Once the diamond clusters are formed, they can grow by thermal annealing consuming carbon atoms from the amorphous matrix. The results are applicable to other materials as well.
刊名: PHYSICAL REVIEW B
专题: 中国科学院半导体研究所(2009年前)_期刊论文

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推荐引用方式:
Yao, Y; Liao, MY; Kohler, T; Frauenheim, T; Zhang, RQ; Wang, ZG; Lifshitz, Y; Lee, ST .Diamond nucleation by energetic pure carbon bombardment ,PHYSICAL REVIEW B,JUL 2005,72 (3):Art.No.035402
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