Characteristics of SOI rib waveguide microring and racetrack resonators
Huang, QZ; Xiao, X; Li, YT; Yu, YD; Yu, JZ; Yu, JZ, Chinese Acad Sci, Inst Semicond, State Key Lab Integrated Optoelect, Beijing 100083, Peoples R China.
2008
会议名称5th IEEE International Conference on Group IV Photonics
会议录名称2008 5TH IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON GROUP IV PHOTONICS
页码: 143-145
会议日期SEP 17-19, 2008
会议地点Sorrento, ITALY
出版地345 E 47TH ST, NEW YORK, NY 10017 USA
出版者IEEE
ISBN978-1-4244-1769-8
部门归属[huang, qingzhong; xiao, xi; li, yuntao; yu, yude; yu, jinzhong] chinese acad sci, inst semicond, state key lab integrated optoelect, beijing 100083, peoples r china
摘要Characteristics of microring/racetrack resonators, in submicron SOI rib waveguides, have been investigated. The effects of waveguide dimensions, coupler design, roughness, and oxide cladding are considered. Moreover, guided mode, loss and dispersion of such waveguides are analyzed.
关键词Resonators Submicron Rib Waveguides Silicon-on-insulator Electron Beam Lithography
学科领域光电子学
主办者IEEE.; Informat Soc Technol.; Helios.
收录类别CPCI-S
语种英语
文献类型会议论文
条目标识符http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/8344
专题中国科学院半导体研究所(2009年前)
通讯作者Yu, JZ, Chinese Acad Sci, Inst Semicond, State Key Lab Integrated Optoelect, Beijing 100083, Peoples R China.
推荐引用方式
GB/T 7714
Huang, QZ,Xiao, X,Li, YT,et al. Characteristics of SOI rib waveguide microring and racetrack resonators[C]. 345 E 47TH ST, NEW YORK, NY 10017 USA:IEEE,2008:: 143-145.
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