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SEMI OpenIR  > 中国科学院半导体研究所(2009年前)  > 期刊论文

题名: Low power 2 x 2 thermo-optic SOI waveguide switch fabricated by anisotropy chemical etching
作者: Xia JS;  Yu JZ;  Wang ZT;  Fan ZC;  Chen SW
发表日期: 2004
摘要: A 2 x 2 thermo-optic (TO) Mach-Zehnder (MZ) switch based on silicon waveguides with large cross section was designed and fabricated on silicon-on-insulator (SOI) wafer. The multi-mode interferometers (MMI) were used as power splitter and combiner in MZ structure. In order to get smooth interface, anisotropy chemical wet-etching of silicon was used to fabricate the waveguides instead of dry-etching. Additional grooves were introduced to reduce power consumption. The device has a low switching power of 235 mW and a switching speed of 60 mus. (C) 2004 Elsevier B.V. All rights reserved.
刊名: OPTICS COMMUNICATIONS
专题: 中国科学院半导体研究所(2009年前)_期刊论文

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Xia, JS; Yu, JZ; Wang, ZT; Fan, ZC; Chen, SW .Low power 2 x 2 thermo-optic SOI waveguide switch fabricated by anisotropy chemical etching ,OPTICS COMMUNICATIONS,MAR 1 2004,232 (1-6):223-228
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