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SEMI OpenIR  > 中国科学院半导体研究所(2009年前)  > 期刊论文

题名: Fabrication of low-cost and high-reflectivity bottom mirrors for Si-based micro-cavity devices
作者: Li CB;  Li HX;  Mao RW;  Zuo YH;  Shi WH;  Zhao L;  Luo LP;  Cheng BW;  Yu JZ;  Wang QM
发表日期: 2004
摘要: A novel and simple way to prepare high-reflectivity bottom mirrors for Si-based micro-cavity devices is reported. The bottom mirror was deposited in the hole, which was etched from the backside of the sample by ethylenediamine-pyrocatechol-water solution with the buried Sio, layer in the silicon-on-insulator substrate as the etching-stop layer. The high-reflectivity of the bottom mirror deposited in the hole and the narrow hill width at half maximum of the cavity formed by this method both indicate the successful preparation of the bottom mirror for Si-based micro-cavity devices.
KOS主题词: Bragg reflectors
刊名: ELECTRONICS LETTERS
专题: 中国科学院半导体研究所(2009年前)_期刊论文

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推荐引用方式:
Li, CB; Li, HX; Mao, RW; Zuo, YH; Shi, WH; Zhao, L; Luo, LP; Cheng, BW; Yu, JZ; Wang, QM .Fabrication of low-cost and high-reflectivity bottom mirrors for Si-based micro-cavity devices ,ELECTRONICS LETTERS,AUG 19 2004,40 (17):1079-1080
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