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SEMI OpenIR  > 中国科学院半导体研究所(2009年前)  > 期刊论文

题名: Optical response of high-level bandgap in one-dimensional photonic crystal applying in-plane integration
作者: Lu, XD;  Han, PD;  Quan, YJ;  Ran, QJ;  Gao, LP;  Zeng, FP;  Zhao, CH;  Yu, JZ
发表日期: 2007
摘要: A new broadband filter, based on the high level bandgap in 1-D photonic crystals (PCs) of the form Si vertical bar air vertical bar Si vertical bar air vertical bar Si vertical bar air vertical bar Si vertical bar air vertical bar Si vertical bar air vertical bar Si is designed by the plane wave expansion method (PWEM) and the transfer matrix method (TMM) and fabricated by lithography. The optical response of this filter to normal-incident and oblique-incident light proves that utilizing the high-level bandgaps of PCs is an efficient method to lower the difficulties of fabricating PCs, increase the etching depth of semiconductor materials, and reduce the coupling loss at the interface between optical fibers and the PC device. (c) 2007 Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers.
KOS主题词: Lithography
刊名: OPTICAL ENGINEERING
专题: 中国科学院半导体研究所(2009年前)_期刊论文

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Lu, XD ; Han, PD ; Quan, YJ ; Ran, QJ ; Gao, LP ; Zeng, FP ; Zhao, CH ; Yu, JZ .Optical response of high-level bandgap in one-dimensional photonic crystal applying in-plane integration ,OPTICAL ENGINEERING,2007 ,46(12): Art. No. 124602
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