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SEMI OpenIR  > 中国科学院半导体研究所(2009年前)  > 期刊论文

题名: Influence of fused interface on the optical and thermal characteristics of vertical cavity lasers
作者: He GR;  Zheng WH;  Qu HW;  Yang GH;  Wang Q;  Cao YL;  Chen LH
发表日期: 2008
摘要: From the effective absorption coefficient of bonded interface and the relationship of interface to reflectivity at cavity mode for double bonded vertical cavity laser, it can be seen that bonded interfaces should be positioned at the null of standing wave distribution, and the thickness of interface should be less than 20 nm. Using the finite elements method, the temperature contour map of laser can be calculated. Results showed that the influence of thin interface to thermal characteristics of VCSELS is slight, while thick interface will lead to temperature increase of active region. SEM images demonstrate that hydrophobic bonding is suitable for the fabrication of the device, while hydrophilic bonding interface is unfavorable to optical and thermal properties of devices with interface thickness larger than 40 nm.
KOS主题词: Adhesion
刊名: ACTA PHYSICA SINICA
专题: 中国科学院半导体研究所(2009年前)_期刊论文

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推荐引用方式:
He, GR ; Zheng, WH ; Qu, HW ; Yang, GH ; Wang, Q ; Cao, YL ; Chen, LH .Influence of fused interface on the optical and thermal characteristics of vertical cavity lasers ,ACTA PHYSICA SINICA,2008 ,57(3): 1840-1845
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