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SEMI OpenIR  > 中国科学院半导体研究所(2009年前)  > 期刊论文

题名: Design and fabrication of polarization-independent micro-ring resonators
作者: Geng, MM;  Jia, LX;  Zhang, L;  Liu, YL;  Yang, L;  Li, F
发表日期: 2008
摘要: Origin of polarization sensitivity of photonic wire waveguides (PWWs) is analysed and the effective refractive indices of two different polarization states are calculated by the three-dimensional full-vector beam propagation method. We find that PWWs are polarization insensitive if the distribution of its refractive index is uniform and the cross section is square. An MRR based on such a polarization-insensitive PWW is fabricated on an 8-inch silicon-on-insulator wafer using 248-nm deep ultraviolet lithography and reactive ion etching. The quasi-TE mode is resonant at 1542.25 nm and 1558.90 nm, and the quasi-TM mode is resonant at 1542.12 nm and 1558.94 nm. The corresponding polarization shift is 0.13 nm at the shorter wavelength and 0.04 nm at the longer wavelength. Thus the fabricated device is polarization independent. The extinction ratio is larger than 10 dB. The 3 dB bandwidth is about 2.5 nm and the Qvalue is about 620 at 1558.90 nm.
刊名: CHINESE PHYSICS LETTERS
专题: 中国科学院半导体研究所(2009年前)_期刊论文

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推荐引用方式:
Geng, MM ; Jia, LX ; Zhang, L ; Liu, YL ; Yang, L ; Li, F .Design and fabrication of polarization-independent micro-ring resonators ,CHINESE PHYSICS LETTERS,2008 ,25(4): 1333-1335
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