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SEMI OpenIR  > 中国科学院半导体研究所(2009年前)  > 期刊论文

题名: Development of solar-blind AlGaN 128x128 ultraviolet focal plane arrays
作者: Yuan, YG;  Zhang, Y;  Chu, KH;  Li, XY;  Zhao, DG;  Yang, H
发表日期: 2008
摘要: This paper reports the development of solar-blind aluminum gallium nitride (AlGaN) 128x128 UV Focal Plane Arrays (FPAs). The back-illuminated hybrid FPA architecture consists of an 128x128 back-illuminated AlGaN PIN detector array that is bump-mounted to a matching 128x128 silicon CMOS readout integrated circuit (ROIC) chip. The 128x128 p-i-n photodiode arrays with cuton and cutoff wavelengths of 233 and 258 nm, with a sharp reduction in response to UVB (280-320 nm) light. Several examples of solar-blind images are provided. This solar-blind band FPA has much better application prospect.
刊名: SCIENCE IN CHINA SERIES E-TECHNOLOGICAL SCIENCES
专题: 中国科学院半导体研究所(2009年前)_期刊论文

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Yuan, YG ; Zhang, Y ; Chu, KH ; Li, XY ; Zhao, DG ; Yang, H .Development of solar-blind AlGaN 128x128 ultraviolet focal plane arrays ,SCIENCE IN CHINA SERIES E-TECHNOLOGICAL SCIENCES,2008 ,51(6): 820-826
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