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SEMI OpenIR  > 中国科学院半导体研究所(2009年前)  > 期刊论文

题名: Mechanical and tribological properties of epitaxial cubic boron nitride thin films grown on diamond
作者: Deyneka-Dupriez N;  Herr U;  Fecht HJ;  Zhang XW;  Yin H;  Boyen HG;  Ziemann P
发表日期: 2008
摘要: 电子邮箱nataliya.deyneka@uni-ulm.de
KOS主题词: Chemical vapor deposition;  atomic layer deposition;  Vapor-plating
刊名: ADVANCED ENGINEERING MATERIALS
专题: 中国科学院半导体研究所(2009年前)_期刊论文

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Deyneka-Dupriez, N ; Herr, U ; Fecht, HJ ; Zhang, XW ; Yin, H ; Boyen, HG ; Ziemann, P .Mechanical and tribological properties of epitaxial cubic boron nitride thin films grown on diamond ,ADVANCED ENGINEERING MATERIALS,2008 ,10(5): 482-487
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