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SEMI OpenIR  > 中国科学院半导体研究所(2009年前)  > 期刊论文

题名: Planar refractive microlens arrays in indium phosphide and quartz substrates
作者: Zhang, XY;  Xie, CS;  Ji, A;  Tang, Q;  Luo, W
发表日期: 2008
摘要: Large-area concave refractive microlens arrays, or concave template structures, and then the non-refractive-index-gradient type of planar refractive microlens arrays in InP and quartz substrates, are fabricated utilizing the method consisting of conventional UV photolithography, thermal shaping of concave photoresist microlenses, etching with an argon ion beam of large diameter, and filling or growing optical medium structures onto the curved surfaces of preshaped concave templates. Several key conditions for fabricating concave and also planar microlenses are discussed in detail. The concave structures obtained are characterized by scanning electron microscope and surface profile measurements. The far-field optical characteristics of quartz/ZrO2 planar refractive microlens arrays have been acquired experimentally. (c) 2008 Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers.
刊名: OPTICAL ENGINEERING
专题: 中国科学院半导体研究所(2009年前)_期刊论文

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推荐引用方式:
Zhang, XY ; Xie, CS ; Ji, A ; Tang, Q ; Luo, W .Planar refractive microlens arrays in indium phosphide and quartz substrates ,OPTICAL ENGINEERING,2008 ,47(5): Art. No. 054001
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