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SEMI OpenIR  > 中国科学院半导体研究所(2009年前)  > 期刊论文

题名: Simulation demonstration and experimental fabrication of a multiple-slot waveguide
作者: Tu, XG;  Xu, XJ;  Chen, SW;  Yu, JZ;  Wang, QM
发表日期: 2008
摘要: A multiple-slot waveguide is presented and demonstrated through theoretical simulation. Taking a double-slot waveguide as an example, the results show a nearly 30% enhancement of optical intensity compared with the traditional single-slot waveguide with the same slot gap width. Therefore, the E-field intensity of the slot can be increased by adding another smaller slot. A double-slot waveguide with oxide and air as low index slot materials is realized experimentally and the formation processes of the slots are analyzed.
KOS主题词: Dielectric wave guides;  Silicon-on-insulator technology
刊名: IEEE PHOTONICS TECHNOLOGY LETTERS
专题: 中国科学院半导体研究所(2009年前)_期刊论文

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Tu, XG ; Xu, XJ ; Chen, SW ; Yu, JZ ; Wang, QM .Simulation demonstration and experimental fabrication of a multiple-slot waveguide ,IEEE PHOTONICS TECHNOLOGY LETTERS,2008 ,20(39941): 333-335
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