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一种复合膜片压力传感器结构 [专利]王晓东; 樊中朝; 季安; 邢波; 杨富华-
依赖晶面的三维限制硅纳米结构的制备方法 [专利]杨香; 韩伟华; 王颖; 张杨; 杨富华-
一种制作纳米尺寸相变存储器的方法 [专利]田晓丽; 王晓峰; 张加勇; 杨富华; 王晓东-
一种纳米尺寸相变存储器的制作方法 [专利]张加勇; 王晓峰; 田晓丽; 杨富华; 王晓东-
一种制备硅纳米结构的方法 [专利]张仁平; 张杨; 杨富华-
一种制作纳米尺寸相变存储器的方法 [专利]张加勇; 王晓峰; 田晓丽; 杨富华; 王晓东-
微机电系统机械组元可靠性评估的测试装置及方法 [专利]杨晋玲; 周威; 周美强; 朱银芳; 杨富华-
采用13.56MHz射频功率源淀积氮化硅薄膜的方法 [专利]李艳; 杨富华; 唐龙娟; 朱银芳-
以光刻胶为掩膜对二氧化硅进行深刻蚀的方法 [专利]李艳; 杨富华; 裴为华-
一种制备氮化镓基垂直结构发光二极管的方法 [专利]樊晶美; 王良臣; 刘志强-
采用光刻和干法刻蚀制作倾斜侧壁二氧化硅结构的方法 [专利]唐龙娟; 杨晋玲; 解婧; 李艳; 杨富华-
适用于激光共聚焦测量装置的光学窗口片 [专利]杨晋玲; 周美强; 周 威; 唐龙娟; 朱银芳; 杨富华-
制作纳米尺寸间距的电极的方法 [专利]张加勇; 王晓峰; 杨富华; 王晓东-
制作纳米管道的方法 [专利]张加勇; 王晓峰; 杨富华; 王晓东-
一种纳米尺寸金属插塞电极阵列的制备方法 [专利]王晓峰; 张加勇; 王晓东; 季安; 杨富华-
应用于导电桥存储器的纳米金属插塞电极阵列的制作方法 [专利]王晓峰; 张加勇; 王晓东; 季安; 杨富华-
高迁移率量子点场效应晶体管及其制作方法 [专利]李越强; 刘雯; 王晓东; 陈燕玲; 杨富华-
纳流体测试器件的制备方法 [专利]张加勇; 王晓峰; 王晓东; 杨富华-
对砷化镓太阳电池帽层进行选择性腐蚀的化学腐蚀液 [专利]刘雯; 李越强; 王晓东; 陈燕凌; 杨富华-
纳流体晶体管的制备方法 [专利]张加勇; 王晓峰; 王晓东; 杨富华-

 

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