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SEMI OpenIR  > 中国科学院半导体研究所(2009年前)  > 专著

题名: 半导体的检测与分析
作者: 许振嘉
出版日期: 2007
摘要: 本书的内容与1984年第一版的内容完全不同。本书介绍补充了这二十年来半导体科研、生产中最常用的各种检测、分析方法和原理。全书共分7章,包括引论,半导体的高分辨X射线衍射,光学检测与分析,表面、薄膜成分分析,扫描探针显微学在半导体中的运用,透射电子显微学及其在半导体中的应用和半导体深中心的表征。书中根据实践列举了一些实例,同时附有大量参考文献和常用的数据,以便读者进一步参考和应用。
专题: 中国科学院半导体研究所(2009年前)_专著

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许振嘉.半导体的检测与分析.第二版.北京:科学出版社.2007
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