a-Si:H/a-SiCx:H超晶格的额研究
丁海亭
学位类型硕士
导师孔光临
1991
学位授予单位中国科学院半导体研究所
学位授予地点北京
学科领域非晶态半导体
语种中文
公开日期2009-04-13
文献类型学位论文
条目标识符http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/4599
专题中国科学院半导体研究所(2009年前)
推荐引用方式
GB/T 7714
丁海亭. a-Si:H/a-SiCx:H超晶格的额研究[D]. 北京. 中国科学院半导体研究所,1991.
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