杂质在Pd硅化物形成时的行为
王金义
学位类型硕士
导师许振嘉
1987
学位授予单位中国科学院半导体研究所
学位授予地点北京
学科领域半导体表面、界面物理
语种中文
公开日期2009-04-13
文献类型学位论文
条目标识符http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/4437
专题中国科学院半导体研究所(2009年前)
推荐引用方式
GB/T 7714
王金义. 杂质在Pd硅化物形成时的行为[D]. 北京. 中国科学院半导体研究所,1987.
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