在金属衬底上生长ZnO薄膜的方法
崔军朋; 段垚; 王晓峰; 曾一平
2009-03-18
公开日期2009-06-04 ; 2009-06-11
专利类型发明
申请日期2007-09-12
语种中文
申请号CN200710121658.8
文献类型专利
条目标识符http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/4319
专题中国科学院半导体研究所(2009年前)
推荐引用方式
GB/T 7714
崔军朋,段垚,王晓峰,等. 在金属衬底上生长ZnO薄膜的方法[P]. 2009-03-18.
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