晶片直接键合过程中实验参数的优化方法
赵洪泉; 于丽娟; 黄永箴
2007-07-11
公开日期2009-06-04 ; 2009-06-11
专利类型发明
申请日期2005-12-28
语种中文
申请号200510130770
文献类型专利
条目标识符http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/3785
专题中国科学院半导体研究所(2009年前)
推荐引用方式
GB/T 7714
赵洪泉,于丽娟,黄永箴. 晶片直接键合过程中实验参数的优化方法[P]. 2007-07-11.
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