窄条选择外延技术制作铝铟镓砷掩埋脊波导激光器及方法
冯文; 潘教青; 赵玲娟; 朱洪亮; 王圩
2006-11-29
公开日期2009-06-04 ; 2009-06-11
专利类型发明
申请日期2005-05-27
语种中文
申请号200510073984
文献类型专利
条目标识符http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/3521
专题中国科学院半导体研究所(2009年前)
推荐引用方式
GB/T 7714
冯文,潘教青,赵玲娟,等. 窄条选择外延技术制作铝铟镓砷掩埋脊波导激光器及方法[P]. 2006-11-29.
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