硅纳米线的制备方法
曾湘波; 廖显伯; 刁宏伟; 向贤碧; 孔光临; 徐艳月
2006-07-05
公开日期2009-06-04 ; 2009-06-11
专利类型发明
申请日期2004-12-23
语种中文
申请号200410098999
文献类型专利
条目标识符http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/3425
专题中国科学院半导体研究所(2009年前)
推荐引用方式
GB/T 7714
曾湘波,廖显伯,刁宏伟,等. 硅纳米线的制备方法[P]. 2006-07-05.
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