一种集成硅膜热流量传感器及其制造方法
涂相征; 李韫言
1992-02-12
公开日期2009-06-04 ; 2009-06-11
专利类型发明
申请日期1990-08-01
语种中文
申请号CN90104888
文献类型专利
条目标识符http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/3337
专题中国科学院半导体研究所(2009年前)
推荐引用方式
GB/T 7714
涂相征,李韫言. 一种集成硅膜热流量传感器及其制造方法[P]. 1992-02-12.
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