Knowledge Management System Of Institute of Semiconductors,CAS
| 多轴高性能MEMS加速度计的关键制备技术研究 | |
| 魏振宇 | |
| 学位类型 | 博士 |
| 2024-05 | |
| 学位授予单位 | 中国科学院大学 |
| 学位授予地点 | 中国科学院半导体研究所 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2024-06 |
| 文献类型 | 学位论文 |
| 条目标识符 | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/31843 |
| 专题 | 中国科学院半导体研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 魏振宇. 多轴高性能MEMS加速度计的关键制备技术研究[D]. 中国科学院半导体研究所. 中国科学院大学,2024. |
| 条目包含的文件 | ||||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| GK2024132-多轴高性能MEMS加（21058KB） | 学位论文 | 限制开放 | CC BY-NC-SA | 请求全文 | ||
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