砷化镓表面清洁方法
谭满清; 茅冬生
2000-05-31
公开日期2009-06-04 ; 2009-06-11
专利类型发明
申请日期1998-11-25
语种中文
申请号CN98124973.6
文献类型专利
条目标识符http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/3029
专题中国科学院半导体研究所(2009年前)
推荐引用方式
GB/T 7714
谭满清,茅冬生. 砷化镓表面清洁方法[P]. 2000-05-31.
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