SEMI OpenIR  > 光电子研究发展中心
热退火和飞秒激光对磷、硼杂质激活率的影响
李韶杰
学位类型硕士
2020-07
学位授予单位中国科学院大学
学位授予地点中国科学院半导体研究所
语种中文
公开日期2020-08
文献类型学位论文
条目标识符http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/29941
专题光电子研究发展中心
推荐引用方式
GB/T 7714
李韶杰. 热退火和飞秒激光对磷、硼杂质激活率的影响[D]. 中国科学院半导体研究所. 中国科学院大学,2020.
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