掩埋有高反射率布拉格反射镜的基片键合方法
毛容伟; 滕学公; 王启明
2005-09-28
公开日期2009-06-04 ; 2009-06-11
专利类型发明
申请日期2004-03-23
语种中文
申请号CN200410030277.5
文献类型专利
条目标识符http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/2953
专题中国科学院半导体研究所(2009年前)
推荐引用方式
GB/T 7714
毛容伟,滕学公,王启明. 掩埋有高反射率布拉格反射镜的基片键合方法[P]. 2005-09-28.
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