采用非平面工艺实现硅基二氧化硅波导偏振无关的方法
安俊明; 李健; 郜定山; 夏君磊; 李建光; 王红杰; 胡雄伟
2005-09-21
公开日期2009-06-04 ; 2009-06-11
专利类型发明
申请日期2004-03-19
语种中文
申请号CN200410031518.8
文献类型专利
条目标识符http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/2949
专题中国科学院半导体研究所(2009年前)
推荐引用方式
GB/T 7714
安俊明,李健,郜定山,等. 采用非平面工艺实现硅基二氧化硅波导偏振无关的方法[P]. 2005-09-21.
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