一种新截面形状的绝缘体上硅脊形光波导及其制作方法
樊中朝; 余金中; 陈少武; 杨笛
2005-06-22
公开日期2009-06-04 ; 2009-06-11
专利类型发明
申请日期2003-12-18
语种中文
申请号CN200310122347.5
文献类型专利
条目标识符http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/2799
专题中国科学院半导体研究所(2009年前)
推荐引用方式
GB/T 7714
樊中朝,余金中,陈少武,等. 一种新截面形状的绝缘体上硅脊形光波导及其制作方法[P]. 2005-06-22.
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