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基于石英音叉的扫描近场光学显微镜成像系统
杨惠霞; 漆晓琼; 谢亮
专利权人中国科学院半导体所
公开日期2016-09-28
授权国家中国
专利类型发明
学科领域光电子学
申请日期2015-04-16
申请号CN201510179862.X
文献类型专利
条目标识符http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/27566
专题光电子研究发展中心
推荐引用方式
GB/T 7714
杨惠霞,漆晓琼,谢亮. 基于石英音叉的扫描近场光学显微镜成像系统.
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基于石英音叉的扫描近场光学显微镜成像系统(329KB) 限制开放使用许可请求全文
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