制备高选择比量子级联激光器脊波导结构的湿法腐蚀方法 | |
梁平; 刘峰奇; 张锦川; 闫方亮; 胡颖; 王利军; 刘俊岐; 王占国 | |
Rights Holder | 中国科学院半导体所 |
Date Available | 2016-09-22 |
Country | 中国 |
Subtype | 发明 |
Subject Area | 半导体材料 |
Application Date | 2015-06-15 |
Application Number | CN201510329218.6 |
Document Type | 专利 |
Identifier | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/27546 |
Collection | 中科院半导体材料科学重点实验室 |
Recommended Citation GB/T 7714 | 梁平,刘峰奇,张锦川,等. 制备高选择比量子级联激光器脊波导结构的湿法腐蚀方法. |
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制备高选择比量子级联激光器脊波导结构的湿(334KB) | 限制开放 | License | Application Full Text |
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