SEMI OpenIR  > 半导体集成技术工程研究中心
外延剥离技术在Ⅲ-Ⅴ族薄膜太阳电池中的应用
马静
学位类型硕士
导师王晓东
2015-05-28
学位授予单位中国科学院研究生院
学位授予地点北京
学位专业集成电路工程
关键词Iii-v 族薄膜太阳电池 外延剥离技术 衬底转移 直接键合
学科领域半导体器件
公开日期2015-06-02
文献类型学位论文
条目标识符http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/26541
专题半导体集成技术工程研究中心
推荐引用方式
GB/T 7714
马静. 外延剥离技术在Ⅲ-Ⅴ族薄膜太阳电池中的应用[D]. 北京. 中国科学院研究生院,2015.
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