密封传动装置
王晓亮; 崔磊; 肖红领; 殷海波; 冯春; 姜丽娟; 陈竑
专利权人中国科学院半导体研究所
公开日期2014-05-07
授权国家中国
专利类型发明
学科领域半导体材料
申请日期2014-01-15
申请号CN201410018204.8
文献类型专利
条目标识符http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/25756
专题中科院半导体材料科学重点实验室
推荐引用方式
GB/T 7714
王晓亮,崔磊,肖红领,等. 密封传动装置.
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