源输送混合比可调气路装置
王晓亮; 肖红领; 陈竑; 殷海波; 冯春; 姜丽娟
专利权人中国科学院半导体研究所
公开日期2014-06-25
授权国家中国
专利类型发明
学科领域半导体材料
申请日期2014-03-13
申请号CN201410092524.8
文献类型专利
条目标识符http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/25753
专题中科院半导体材料科学重点实验室
推荐引用方式
GB/T 7714
王晓亮,肖红领,陈竑,等. 源输送混合比可调气路装置.
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